熱式質量流量計通過恒溫差測量氣體質量流量，是一種應用傳熱原理測量流量的儀器。其具有裝置方便，體積比較小，測量準等特點。其是利用流體流過外熱源加熱的管道時產生的溫度場變化來測量流體質量流量，或利用加熱流體時流體溫度上升某一值所需的能量與流體質量之間的關系來測量流體質量流量的一種流量儀表。

熱式質量流量計在不同傳感器的位置有兩個參考液位鉑電阻液位傳感器，一個傳感器保持高于溫度的恒定濕度差，而另一個傳感器測量流量的溫度。其通過測量氣體流經流量計內加熱元件時的冷卻效應來計量氣體流量的。氣體通過的測量段內有兩個熱阻元件，其中一個作為加熱器，另一個作為溫度檢測。

熱式質量流量計在安裝過程中有許多需要注意的地方。在安裝過程中，不銹鋼閥門在將地腳螺栓焊接到隧道上之前，應與設備進行機械密封。安裝后需要鉆孔，鉆孔前，應估計現場條件，以確使操作手柄的可靠性；鉆孔后，應及時關閉閥門，以避免漏氣。

總的來說，熱式質量流量計在安裝期間，要求不要參照底座停止，底座應位于管道截面方向的頂部。其中點焊的操作不會在爆炸環境中中斷。