熱式氣體流量計的測量探頭有兩個傳感器：一個是溫度傳感器，一個是速度傳感器，兩個傳感器都是基準級鉑電阻傳感器。鉑電阻固定在密封、堅固的不銹鋼套管中，在測量電路中它們也作為測量橋路的兩個臂，溫度傳感器在工作中測量被測氣體的溫度，它作為參比溫度，而速度傳感器被加熱，并使其被加熱的溫度和參比溫度有一固定的溫差，當參比溫度變化，則溫差也隨著變化，可以通過加熱功率的變化來測量氣體的質量流量。

　　熱式氣體流量計具有如下技術優勢：

　　傳感器無活動部件和壓感部件，不受震動對測量精度的影響，使用壽命長，抗震性能好；

　　安裝維護簡便。在現場條件允許的情況下，可實現不停產安裝和維護；

　　數字化設計。整機數字化電路測量，維護方便、測量準確；

　　真正的質量流量計，對氣體流量測量無需溫度和壓力補償，可得氣體的標準體積流量或質量流量，且測量準確、方便；

　　較大的量程比。可測量流速低到0.5nm/s和高到100nm/s的氣體，可用于氣體檢漏。